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        電鍍設備

        應用于雙大馬士革電鍍工藝

        盛美上海多陽極局部電踱設備應用千55/40/28和28納米以下的大馬士革銅金屬層沉積。

        電鍍設備

          

        主要優勢

        脈沖局部電鍍技術

        適用于超薄種子層

        高產能

        獨立模塊設計

        低耗材成本COC和運行成本COO











        特性和規格

        設備應用于300毫米晶圓

        最多可配至3個Load Port

        最多可配至4個電鍍腔體配備脈沖局部電鍍功能

        最多可配至4 個清洗腔體

        最多可配至8個退火腔體

        電鍍均一性:
             WIWNU  < 1.5%
             WTWNU < 1.5%